氮化矽製品的生產工藝都有哪些
發布：安陽市向日葵视频无限次数app下载氮化製品有限責任公司 瀏覽：1108次 發布時間：2017-12-19 09:27:14
氮化矽製品按工藝可以分為反應燒結製品、熱壓製品、常壓燒結製品、等靜壓燒結製品和反應重燒製品等。其中，反應燒結是一種常用的生產氮化矽耐火製品的方法。
反應燒結法生產氮化矽製品是將磨細的矽粉（粒度一般小於80μm），用機壓或等靜壓成型，坯體幹燥後，在氮氣中加熱1350～1400℃，在燒成過程中同時氮化而製得。采用這種生產方法，原料條件和燒成工藝及氣氛條件對製品的性能有很大的影響。
矽粉中含有許多雜質，如Fe，Ca，Aì，Ti等。Fe被認為是反應過程中的催化劑。它能促進矽的擴散，但同時，也將造成氣孔等缺陷。Fe作為添加劑的主要作用：在反應過程中可作催化劑，促使製品表麵生成SiO2氧化膜；形成鐵矽熔係，氮溶解在液態FeSi2中，促進β-Si3N4的生成。但鐵顆粒過大或含量過高，製品中也會出現氣孔等缺陷，降低性能。一般鐵的加入量為0～5%。Al，Ca，Ti等雜質，易與矽形成低共熔物。適當的添加量，可以促進燒結，提高製品的性能。
矽粉的粒度越細，比表麵積越大，則可降低燒成溫度。粒度較細的矽粉與粒度較粗的矽粉相比，製品中含α- Si3N4的量增高。降低矽粉的粒徑，可以降低製品的顯微氣孔尺寸。適當的粒度配比，可以提高製品密度。
溫度對氮化速率影響很大。在970～1000℃氮化反應開始，在1250℃左右反應速率加快。在高溫階段，由於是放熱反應，若溫度很快超過矽的熔點（1420℃），則易出現流矽，嚴重的將使矽粉坯體熔融坍塌。
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